加熱器與過(guò)濾精度達(dá) 0.1μm的過(guò)濾器同時(shí)搭載。
該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過(guò)濾，接觸氣體部分材完全采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC自主研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。
特點(diǎn)
- 0.1μm 的過(guò)濾精度
- *高使用溫度達(dá)200℃
- 全金屬無(wú)塵構(gòu)造
使用范例
該系列過(guò)濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方，用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。
